2023年3月6日，国家自然科学基金委员会（以下简称基金委）信息科学部组织专家在澳门威斯尼斯人橙色的对黄如院士承担的国家重大科研仪器研制项目（部门推荐）“半导体器件氧化层电缺陷演化原位分析系统”进行中期检查。澳门威斯尼斯人橙色的校长龚旗煌院士，基金委信息科学部常务副主任刘克、副主任何杰等出席会议，由房建成院士、贾金锋院士等组成的中期检查专家组，以及项目监理专家组、基金委、项目依托单位等相关人员参加会议。

会议开幕式由何杰主持。龚旗煌代表澳门威斯尼斯人橙色的对专家和领导的到来表示欢迎。他指出科研仪器自主研制能力是衡量一个国家科学技术水平的重要标准之一，总书记在主持中共中央政治局第三次集体学习时明确强调鼓励高校和科研机构同企业开展联合攻关，提升国产化替代水平和应用规模，争取早日实现用我国自主的研究平台、仪器设备来解决重大基础研究问题。近年来北大也持续加大对基础学科的支持力度，其中就包括大力支持面向科学前沿和国家需求的原创性科研仪器与核心部件研究。在国家自然科学基金委的大力支持下，由黄如院士主持的“半导体器件氧化层电缺陷演化原位分析仪器”项目在启动三年多以来进展顺利，目前已经完成了仪器两个子系统的设计与试制，并取得了一些阶段性的研究成果。希望各位专家对项目的实施提出宝贵意见和建议，澳门威斯尼斯人橙色的作为依托单位，也会继续聚集各部门的力量，一如既往地为项目的研发和攻关提供全方位的支持和保障。

龚旗煌校长致辞

刘克致辞指出寻求重大科研突破，需要科研仪器先行一步。基金委的部门推荐类重大科研仪器研制项目，面向世界科学前沿和国家重大需求，以促进科学发展、探索自然规律和开拓研究领域为导向，支持原创性科研仪器研制，为基础研究提供更新更强的手段和工具，全面提升我国的原始创新能力。氧化层电缺陷是影响半导体器件性能的共性科学问题，是先进芯片制造技术的一个瓶颈。这个项目要研制一套缺陷测试分析的原型仪器，实现对器件氧化层电缺陷的位置、类型、演化情况的分析功能，构建氧化层电缺陷数据库，促进集成电路先进工艺的研发。希望研制的仪器能够推动微纳电子学的发展，对我国集成电路技术与芯片制造产业提供技术支撑。在这次中期检查会上，各位专家的主要任务是督导和纠偏，对于可能存在的问题和走偏现象，切实提出指导意见，帮助课题组顺利完成仪器研制工作。

刘克常务副主任致辞

房建成院士主持中期检查会

中期检查会由专家组组长房建成院士主持，项目组黄如院士和王润声教授做项目工作汇报，对项目意义、完成情况、仪器应用和研究成果、经费使用与档案管理、组织保障与后续计划等进行汇报。中芯国际北方集成电路技术创新中心卜伟海教授级高工代表监理专家组作监理报告。在听取汇报后，专家组对项目组进行提问。随后，专家组前往仪器研制场地进行现场考察、对项目的经费使用情况和档案收集及管理情况进行审查。

黄如院士和王润声教授做项目汇报

专家组现场考察

经过充分讨论后，专家组一致认为该项目围绕总体目标和研究计划开展研制工作，项目计划实施情况良好，建议通过中期检查。

会议合影